Citra Widuri
Analisa pengaruh waktu pemrosesan terhadap struktur mikro lapisan tipis CcO2 hasil penumbuhan dengan teknologi sputtering setelah anil 300C selama 1 jam
Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2004
 UI - Skripsi Membership
Antonius Suban Hali
Distribusi keterbalan dan distribusi resistivitas listrik lapisan tipis Indium tin oxide (ITO) yang dibuat dengan metode sputtering
Universitas Indonesia, 2008
 UI - Tesis Open
Mattotorang, Ammar Shidqi
Rancang Bangun Sistem Pelapisan degan Logam menggunakan Metode Plasma Sputtering = Metal Coating System Design using The Plasma Sputtering Method
Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2024
 UI - Skripsi Membership
Chapman, Brian
Glow discharge processes: sputtering and plasma etching / Brian Chapman
John Wiley & Sons, 1980
 Buku Teks SO
Mekanisme pembawa muatan pada ZnO murni
Universitas Indonesia, 1991
 UI - Skripsi Membership