Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Badrul Munir
"
Lapisan tipis indium timah oksida (ITO) dideposisikan pada substrat gelas corning dengan metode sputtering menggunakan gas argon. Parameter deposisi dan penambahan oksigen dalam gas sputtering dioptimasi untuk mendapatkan tingkat transparansi lapisan tertinggi dan resistivitas listrik terendah melalui pengamatan struktur, sifat listrik dan sifat optik. Peningkatan laju deposisi dan ketebalan lapisan menghasilkan perubahan orientasi kristalografi dari (222) ke (400) dan (440), serta peningkatan kekasaran permukaan lapisan. Pemanasan substrat sangat diperlukan untuk mendapatkan lapisan tipis dengan kristalinitas ...
"
Depok: Direktorat Riset dan Pengabdian Masyarakat Universitas Indonesia, 2012
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
