Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
Cuk Imawan
"
ABSTRAK
Pada eksperimen ini telah dibuat film TiN dengan metode sputering magnetron reaktif pada temperatur substrat 325°C, 230°C , dan 125°C. Hasil pengukuran XRD menunjukkan bahwa film-film dengan fasa δ-TiN dapat diperoleh dengan proses deposisi pada daerah laju alir nitrogen yang cukup lebar (15,1 ml/min - 16,6 ml/min), tanpa dipengaruhi oleh temperatur substrat, jika dilakukan pengontrolan parameter proses secara tepat. Fasa a-Ti3N yang tidak diperoleh pada film-film hasil deposisi disebabkan karena selama proses deposisi dipergunakan temperatur ...
"
1995
T-Pdf
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
Nurlatifah
"
Karbon aktip dikenal cukup luas penggunaannya baik untuk industri maupun rumah tangga. Dari sektor industri misalnya industri pangan dan non pangan. Di Indonesia sudah didirikan beberapa industri karbon aktif. Namun demikian untuk penggunaan penyerap merkuri, produk tersebut masih harus diimpor. Pada umumnya bahan baku untuk penyerap merkuri berasal dari batu bara yang sudah di impregnasi dengan belerang. Untuk mengamati kemungkinan dapat diproduksinya karbon aktip penyerap merkuri dengan bahan baku selain batu bara, maka dilakukan penelitian ...
"
Depok: Fakultas Matematika Dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1999
T-Pdf
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
