Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
Rosari Saleh
"
Pengaruh perlakuan anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis amorf silikon karbon yang dideposisi menggunakan target silikon dalam campuran gas argon, metan dan hidrogen dipelajari dengan menggunakan spektroskopi ultra violet-visible (uv-vis). Baik n maupun α, demikianpula bagian riil dan imajiner fungsi dielektrik cukup bervariasi terhadap peningkatan temperatur anil sampai 500 °C, dengan perubahan terbesar terjadi pada temperatur anil 300 °C. Lapisan tipis cenderung meningkat densitasnya dengan peningkatan temperatur anil sampai 500 °C. Gap optis memperlihatkan ...
"
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2003
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Rosari Saleh
"
Studi tentang pengaruh anil termal terhadap besaran optis dan disorder lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi (a-SiC:H) telah dilakukan. Lapisan tipis dihasilkan dengan teknik deposisi sputtering menggunakan target grafit dan wafer silikon yang dilakukan dalam campuran gas argon dan hidrogen, kemudian dikarakterisasi dengan spektroskopi uv-vis (ultra violet-visible) sebelum dan setelah diberikan perlakuan anil termal. Indeks bias n dan koefisien absorpsi α diperoleh dari hasil pengukuran transmitansi. Gap optis memperlihatkan sedikit variasi terhadap temperatur anil, yakni ...
"
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2003
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
