Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Yoga Purna Tama
"
Perkembangan teknologi sensor terus meningkat pesat seiring dengan kebutuhan aplikasinya. Salah satunya adalah sensor berbasis MEMS seperti mikrokantilever, yaitu sensor yang menggunakan pendeteksi perubahan sifat mekanis sebagai transducer. Penelitian terhadap penggunaan sensor mikrokantilever relatif luas seperti di bidang kimia, fisika, biologi, lingkungan, dan kedokteran. Terdapat dua metode pengukuran deteksi objek pada sensor mikrokantilever, yaitu mode statis yang mengukur langsung defleksi yang terjadi, dan ada pula mode dinamis yang mengukur pergeseran frekuensi resonansi karena deteksi objek ...
"
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2015
S59867
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library