Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 3 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Studi spektroskopi ellipsometri lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) yang dihasilkan dengan metode deposisi DC sputtering
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library
cover
Jan Ady
Penentuan fungsi dielektrik kompleks dari hasil pengukuran spektroskopi ellipsometer untuk lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi sputtering
" Fungsi dieiektrik kompleks lapisan tipis amorfsilikon karbon (a-Sii.xCx:H) hasit deposisi sputtering telah ditentukan dengan menggunakan hasil pengukuran spektroskopi ellipsometer. Besaran optis lapisan tipis a-Si/.,Cx:H diperoleh dengan prosedur MSE terhadap tan i// dan cos A hasil eksperimen dengan tan y/ dan cos A model matematis sistem lapisan tipis. Mode! sistem tiga media digunakan untuk mendiskripsikan lapisan tipis a-Sii.xCx:H di alas substrat corning 7059 yang terletak di udara. Fungsi dieiektrik kompleks yang diperoleh merupakan kurva yang mulus ... "
Program Pascasarjana Universitas Indonesia, 2000
T535
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Wawas Swathatafrijiah
Pembuatan dan karakterisasi lapisan tipis alumina pada substrat alumunium alloy
" Lapisan tipis Keramik Alumina pada substrat Aluminium Alloy dibuat dengan metoda pelapisan Sputtering RF Magnetron. Pelapisan dilakukan pada tekanan dasar sistem 1.7 - 3.3 x 10-5 torr dan tekanan gas Argon saat pelapisan berlangsung dipertahankan sekitar 15 mtorr. Komposisi Atomik Substrat sebelum pelapisan diuji dengan SEM/EDAX hasilnya adalah 69 % Al - 28 996 Si - 2.5 % Mg dan terdapat unsur Fe dan Ni yangjumlahnya kurang dari 1%. Sedangkan Target mempunyai fasa a-A1203 yang ... "
Depok: Universitas Indonesia, 1997
T-Pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library