Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Abdul Azis
"
Dalam penelitian ini telah berhasil dilakukan pembuatan thin film Zn excimer pada substrat Safir (α-Al2O3) dengan teknik rekombinasi ion pada sistem electron assisted PVD. Modifikasi level elektronik pada Zn dengan eksitasi memungkinkan untuk mendapatkan struktur kristal yang berbeda dan akan merubah sifat material. Salah satu variabel utama dalam kontrol pembentukan Zn excimer dengan metode rekombinasi ion adalah kontrol energi insiden elektron. Kontrol energi tersebut berkaitan dengan fenomena densitas elektron yang ditembakkan ke substrat. Distribusi densitas ...
"
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2012
S42312
UI - Skripsi Open Universitas Indonesia Library
