Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Studi spektroskopi electron spin resonance (ESR) lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering Rosari Saleh
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library
cover
Rosari Saleh
Studi spektroskopu electron spin resonance lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering
" Defek dangling bond dari lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode dc sputtering telah dipelajari dengan spektroskopi ESR (electron spin resonance). Densitas spin berkurang tidak terlalu besar dengan peningkatan fl ow rate gas metan. Pengaruh kehadiran karbon dan hidrogen terhadap harga-g menunjukkan bahwa sampai fl ow rate gas metan 8 sccm, sinyal ESR didominasi oleh karakteristik defek a-Si:H, sedangkan untuk fl ow rate gas metan lebih besar dari 8 sccm, harga-g berkurang mendekati ... "
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2002
AJ-Pdf
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library