Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Tedy Ramadanus
Perancangan sensor tekanan berdiafragma rektagular silikon dengan elemen pengindera strain gauge kapasitif uniplanar dari bahan aluminium
" Pada Skripsi ini akan dibahas mengenai Perancangan Sensor Tekanan yang menggunakan Mugma rektangular dengan bahan substrat Silikon dan strain gauge kapasitif uniplanar dengan elektroda yang terbuat dari Aluminium dengan dielektrik dari udara Sensor ini bekerja atas dasar prinsip mekanis dan prinsip kapasitif. Prinsip mekanis dipakai dalam menghitung pengaruh tekanan terhadap efek perubahan defleksi diafragma rektangular. Prinsip kapasitif dipakai dalam menghitung efek perubahan panjang elektroda uniplana terhadap pernbahari kapasitansi. Sensor ini dapat difabrikasi dengan teknologi thin ... "
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 1996
S38907
UI - Skripsi Membership  Universitas Indonesia Library