Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Mega Nurasa
"
Yang dimaksud dengan Clean Room adalah suatu ruangan yang dibuat sedemikian rupa dan disesuaikan dengan keperluan dan tujuannya dengan batasan-batasan yang telah ditentukan untuk mengendalikan kotoran dan partikel-partikel yang ada di udara, disamping masalah tekanan, suhu dan kelembaban ruangan tersebut, juga penyaluran, bentuk serta kecepatan aliran udara dalam suatu ruangan yang dikondisikan. Pada industri semiconductor, clean room mempakan hal mutlak yang harus digunakan, ini dimaksudkan agar produk yang dihasilkan dapat terjaga kualitasnya. Bila terdapat kotoran ...
"
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2006
S37540
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library
