ABSTRAKPada penelitian ini dipelajari SpektroskopiImpedansi bahan soft magnetik FeSi dan finemet(Fe73-Si13,5-Cu1-B9-Nb3). Bahan-bahan tersebut dianil padatemperatur 800oC selama 30, 60 dan 90 menit.Temperaturdan lama anil sebanding dengan besarnya perubahanimpedansi.Sebelum annealing sampel diukur dengan metodeSpektroskop Impedansi kemudian dibandingkan denganSpektroskopi Impedansi setelah sampel dianil. Untukmengolah dan menganalisa data hasil pengukurandigunakan program komputasi. Plot data yang diperolehdipergunakan untuk memperkirakan model rangkaianekivalen yang cocok bagi mateial tersebut.Dari studiliteratur diperoleh bahwa secara umum model rangkaianadalah berupa serangkaian dari paralel RC.Untukmengetahui komposisi fasa-fasa pada bahan FeSidilakukan karakerisasi menggunakan XRD.Dari poladifraksi diketahui bahwa FeSi adalahkristalin.Pengujian komposisi unsur-unsur dengan XRFmenunjukkan FeSi terdiri dari 97 persen berat Fe dan 3persen berat Si.Terjadi perubahan ukuran butir sampelFeSi sebelum dianil dan setelah dianil.Perubahan ukuranbutir diamati menggunakan SEM.Hasil sementara menunjukkan bahwa dengan beberapaperlakuan annealing menghasilkan spektrokopi Impedansiyang berbeda.Dengan perubahan struktur yaitu membesarnya grain danperbaikan kristalisasi maka diharapkan diperolehkorelasi antara struktur mikro terhadap sifat konduksisampel .